氮化铝粉末制备方法及研究进展.docx

第39卷第4期

粉末冶金技术

Vol.39,No.4

2021年8月

PowderMetallurgyTechnology

August2021

氮化铝粉末制备方法及研究进展

张智睿，秦明礼?,吴昊阳?,刘昶，贾宝瑞，曲选辉

北京科技大学新材料技术研究院，北京100083

?通信作者,E-mail：qinml@（秦明礼）；wuhaoyang@（吴昊阳）

摘要氮化铝因高导热和绝缘性得到广泛应用，目前全球氮化铝应用市场处于高速成长期，对氮化铝的需求也在持续增长。氮化铝粉末是制备氮化铝陶瓷的关键原料，其性质对后续制备的氮化铝陶瓷性能有决定性影响。本文整理对比了微米级与纳米级氮化铝粉末的制备方法并对未来氮化铝粉末制备的研究方向和发展趋势提出了展望。

关键词氮化铝；制粉工艺；功能陶瓷；纳米粉体

分类号TG142.71

Researchprogressandpreparationmethodofaluminumnitridepowder

ZHANGZhi-rui,QINMing-li?,WUHao-yang?,LIUChang,JIABao-rui,QUXuan-huiInstituteforAdvancedMaterialsandTechnology,UniversityofScienceandTechnologyBeijing,Beijing100083,China

?Correspondingauthor,E-mail:qinml@(QINML);wuhaoyang@(WUHY)

ABSTRACTAluminumnitridehasbeenwidelyappliedforthehighthermalconductivityandinsulatingproperties.Nowadays,theglobalaluminumnitrideapplicationmarketisinthehighgrowthstageaswellasthedemandforaluminumnitrideisgrowingcontinuously.Aluminumnitridepowdersarethecriticalrawmaterialsforthesynthesisofaluminumnitrideceramics,andthepropertiesofthealuminumnitridepowdersdominatethepropertiesofthealuminumnitrideceramics.Inthepaper,thepreparationmethodsofmicrometer-andnanometer-sizedaluminumnitridepowdershavebeencompared.Moreover,thefutureresearchdirectionsanddevelopmenttrendofpreparingaluminumnitridepowdershavebeenpointedout.

KEYWORDSaluminumnitride;powdersynthesisprocess;functionalceramics;nanopowders

氮化铝（AlN）具有高的热导率（理论可达320W·m?1·K?1）、良好的绝缘性（1014Ω·cm）、低的介电常数（在1MHz测试条件下为8.0）和介电损耗（介电损耗角为tanδ=10?4）、与硅相匹配的热膨胀系数（3.2×10?6K?1）、良好的化学稳定性和无毒等特点，在半导体、电真空等领域得到了广泛

子组件的关键材料[1?4]。AlN基板是高铁轨道交通、新能源汽车IGBT模块的关键承载体，可有效为模块提供绝缘能力和整体散热流动。随着5G时代的到来，低损耗、高导热的AlN陶瓷基板能满足高频5G组件的高要求。目前全球AlN应用市场处于高速成长期，根据半导体、微电子、功率器件协会

的应用，也是汽车电子、航空航天和军事国防用电和汽车工业协会公布的数据预测，AlN全球市场规

收稿日期：2020?07?15

基金项目：国家自然科学