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单晶炉机械结构.pdfVIP

单晶炉机械结构.pdf

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    TDR85A-ZJS单晶炉的机械

    结构与维修

    背景—半导体生产流程

    石英砂－金属硅多晶

    拉制单晶棒

    （本产品研究环节）

    单晶硅片单晶硅棒

    集成电路集成电路应用太阳能电太阳能电应用

    设备简介

    直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单晶

    体设备。

    将多晶硅原料放在炉体石英坩埚内进行高温

    熔化（大于1450℃），在低真空度和氩气保护下，

    通过籽晶插入多晶硅熔体后，在籽晶周围形成过冷

    态并进行有规律结晶生长，形成一根单晶棒体。

    液面测

    籽晶提升温仪工艺过程

    旋转机构

    氩气

    •抽真空

    流量

    •检漏

    •调压

    •熔料

    单晶棒籽晶•稳定

    •熔接

    CCD•引晶

    热场测•放肩

    温仪

    •转肩

    加热器•等径

    •收尾

    •停炉

    坩埚

    •氧化

    坩埚提升

    旋转机构

    熔料

    引晶

    放肩

    等晶

    收尾

    TDR85A-ZJS全自动晶体生长炉

    炉体

    整

    体电控柜

    寸结

    构电源柜

    尺

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