《硅多晶还原炉用氮化硅制品》.pdf

YS/TXXXX-XXXX

硅多晶还原炉用氮化硅制品

1范围

本文件规定了硅多晶还原炉用氮化硅制品的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、

贮存、随行文件及订货单内容。

本文件适用于气压烧结、无压烧结工艺制备的氮化硅制品的测试、检验和评价。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

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3术语和定义

GB/T10623、GB/T14264、GB/T15463和GB/T17991界定的术语和定义适用于本文件。

4分类

硅多晶还原炉用氮化硅制品按用途分为氮化硅绝缘环、氮化硅尾气罩和氮化硅喷嘴。

5技术要求

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5.1理化性能

硅多晶还原炉用氮化硅制品的理化性能要求见表1。

表1理化性能

项目氮化硅绝缘环氮化硅尾气罩氮化硅喷嘴

密度

3.0～3.23.0～3.23.2～3.4

g/cm³

三点抗弯强度

≥600≥600≥800

MPa

体积电阻率

≥1014≥1014≥1014

Ω·cm

击穿强度

≥15＞10＞10

kV/mm

线膨胀系数（RT-500）

≤3.4≤3.4≤3.0

-6

10/℃

维氏硬度