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1
YS/T××××—20××
钼合金靶材
1范围
本文件规定了钼合金靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、贮存和运输、随行文件及订货单内容。
本文件适用于粉末冶金法制备的钼合金坯料经轧制、机加工后加工生产的板状靶材。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1031产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值
GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法
GB/T4325(所有部分)钼化学分析方法GB/T8651金属板材超声板波探伤方法GB/T41080钼及钼合金金相检验方法
YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4产品分类
4.1产品形状及结构
产品外形按照结构形式分为单体靶材和复合体靶材。不同结构形式的靶材见图1的a)和b)。
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YS/T××××—20××
a)单体靶材
靶坯
背板
b)复合体靶材
图1靶材结构示意图
4.2产品牌号及状态
产品按照化学成分分为MoNb、MoTa、MoTi、MoNi四个牌号。不同牌号的产品对应的状态见表1。表1产品牌号及状态
牌号
MoNb
MoTa
MoTi
MoNi
状态
去应力退火(m)
烧结态(S)
5技术要求
5.1化学成分
产品化学成分应符合表2的规定。
3
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表2产品的化学成分
%(质量分数)
元素
牌号
MoNb
MoTa
MoTi
MoNi
MoTi10
MoTi33.3
MoNi10
MoNi15
Mo含量
余量
余量
余量
余量
余量
余量
合金元素含量(Nb、Ta、Ti、Ni)
10±0.2
10±0.2
10±0.2
33.3±0.2
10±0.2
15±0.1
杂质元素含量,不大于
C
0.0030
0.0050
0.0050
0.0100
0.0050
0.0050
O
0.0600
0.0600
0.1000
0.1500
0.0800
0.1000
N
0.0050
0.0050
0.0050
0.0050
0.0050
0.0050
Fe
0.0030
0.0050
0.0050
0.0100
0.0050
0.0050
Ni
0.0020
0.0020
0.0020
0.0050
-
-
Si
0.0030
0.0030
0.0030
0.0030
0.0030
0.0030
Al
0.0030
0.0030
0.0030
0.0050
0.0030
0.0030
Cu
0.0030
0.0030
0.0030
0.0050
0.0050
0.0050
Mn
0.0020
0.0020
0.0020
0.0020
0.0020
0.0030
Ca
0.0020
0.0020
0.0030
0.0020
0.0030
0.0030
Mg
0.0010
0.0010
0.0010
0.0020
0.0010
0.0020
Cr
0.0020
0.0020
0.0030
0.0030
0.0030
0.0030
Co
0.0020
0.0020
0.0020
0.0020
0.0020
0.0020
Zn
0.0020
0.0020
0.0020
0.0020
0.0020
0.0020
Na
0.0010
0.0010
0.0010
0.0010
0.0010
0.0010
K
0.0020
0.0020
0.0020
0.0020
0.0030
0.0030
5.2外形尺寸及其允许偏差
产品外形尺寸及允许偏差应符合表3的规定。产品平面度应小于0.2mm。需方对产品外形尺寸及其允许偏差有特殊要求时,由供需双方协商决定。
表3外形尺寸及其允许偏差
单位为毫米
厚度及其允许偏差
矩形
圆形
宽度及其允许偏差
长度及其允许偏差
直径及其允许偏差
5~10
±0.2
100~1000
±0.2
300~1000
±0.2
50~100
±0.1
10~30
±0.5
1000~2000
±0.5
1000~4000
±0.5
100~500
±0.2
5.3相对密度
MoNb、MoTa、MoTi产品的相对密度应不小于99%,MoNi产品的相对密度应不小于98%。5.4晶粒尺寸
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产品晶粒尺寸平均应不大于60μm,最大值应不大于100μm。5.
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