《热敏打印用碳-碳化硅靶材》.docx

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热敏打印用碳-碳化硅靶材

1范围

本文件规定了热敏打印用碳-碳化硅靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于热敏打印用碳-碳化硅靶材。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法GB/T16555含碳、碳化硅、氮化物耐火材料化学分析方法

GB/T25915.1—2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

GB/T37254高纯碳化硅微量元素的测定

YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

YS/T1509.3硅碳复合负极材料化学分析方法第3部分：铁、镍、锆、钙、铅、铝、铪含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

靶材target

在溅射沉积技术中的阴极材料。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式

脱离阴极而在衬底面沉积。

3.2

靶坯targetblank

阴极上用作溅射的材料。

3.3

背板backingplate

用来支撑或固定靶坯的材料。

4分类

产品形状通常为方形，或按需方图纸要求。产品按照结构形式分为复合体靶材和单体靶材，结构示意图如图1所示。

注：复合体靶材的靶坯与背板一般通过钎焊的方式连接。

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2

a）复合体靶材b）单体靶材

标引序号说明：1——靶坯；

2——背板。

图1靶材结构示意图

5技术要求

5.1化学成分

产品的化学成分应符合表1的规定。

表1化学成分

化学成分，质量分数%

主元素

非气体杂质元素，不大于

非气体杂质元

素总和/%，不大于

气体杂质元素，不大于

C

Si

Fe

Al

Ni

Na

Cu

Zr

S

N

O

39.06~63.09

36.91~60.94

0.050

0.050

0.005

0.010

0.005

0.035

0.005

0.100

0.100

0.300

注：若需方需求原子比数据，则使用质量比转换成原子比。需方如有特殊要求时，由供需双方商定，并在订货单中注明。

C含量为100%减去Si含量。

5.2相对密度

产品的相对密度应不小于98%。

5.3焊接质量

复合体靶材通常采用钎焊方式，焊接结合率应不小于95%，单个未焊合间隙面积应不大于总面积的2.5%。

5.4尺寸及允许偏差

产品的尺寸及允许偏差由供需双方协商确定。

5.5外观质量

产品表面应清洁光滑，无油污锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。

6试验方法

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6.1化学成分

产品Si含量的测定按照供需双方约定的方法进行；Fe、Al、Ni、Na、Cu和S含量的测定按照GB/T37254的规定进行；Zr含量的测定按照YS/T1509.3的规定进行；N和O含量的测定按照GB/T16555的规定进行。

6.2相对密度

产品的相对密度检验按照GB/T3850的规定进行。

6.3焊接质量

产品的焊接质量检验按照YS/T837的规定进行。

6.4尺寸及允许偏差

产品的尺寸及允许偏差采用三坐标测量仪、卡尺、平面度仪、塞规等进行测量。

6.5外观质量

产品的外观质量用目视方法检验，必要时用放大镜或显微镜进行鉴别。

7检验规则

7.1检查和验收

7.1.1产品应由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定，并附随行文件。

7.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验，如检验结果与本文件或订货单的规定不符时，应

以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于外观质量的异议，应在收到产品之日起一个月内提出，属于其他性能的异议，应在收到产品之日起三个月内提出。如需仲裁，应由供需双方协商确定。

7.2组批

产品应成批提交验收。每批应由同一化学成分、同一生产周期的产品组成。

7.3检验项目及取样

产品应进行化学成分、相对密度、焊接质量、尺寸及允许偏差、外观质量的检验。化学成分的取样应符合表2规定。

表2检验项目及取样

检验项目

取样位置

取样数量

技术要求的章条号

试验方法的章条号

化学成分

半成品边缘

（取样位置示意图见图2）

每批取1份

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