外延工艺培训课件.pptx

3.7外延工艺;材料;CVD法的步骤：

1.参加反应的气体的混合物被输运到沉积区

2.反应物分子由主气流扩散到衬底的表面

3.反应物分子吸附在衬底表面上

4.吸附物分子间或吸附分子与气体分子间发生化学反应，生成硅原子和化学反应副产物，硅原子沿衬底表面迁移并结合进入晶体点阵。

5.反应副产物分子从衬底表面解吸

6.副产物分子由衬底表面外扩散到主气流中，然后排出淀积区

;;3.7.1外延生长原理

1气相外延

外延是指在单晶衬底上生长一层新单晶的技术，新单晶的晶向取决于衬底，由衬底向外外延而成。

外延方法很多，硅半导体器件中通常采用硅的气相外延法。其过程是：四氯化硅（SiCl4)或硅烷（SiH4)，在加热的硅衬底表面与氢发生反应或自身发生热分解，还原成硅，并以单晶形式沉积在硅衬底表面。;2外延生长设备;外延系统应满足如下要求：

(1)气密性好

(2)温度均匀且精确可控，能保证衬底均匀地升温与降温；

(3)气流均匀分布

(4)反应剂与掺杂计的浓度及流量精确可控

(5)管道、阀门用不锈钢制造，并保证连接可靠。

(6)要使用多个流量计使反应剂与掺杂计的浓度及流量精确可控。

(7)石墨基座由高纯墨制成。加热采用射频感应加热方式。

;9、要学生做的事，教职员躬亲共做；要学生学的知识，教职员躬亲共学；要学生守的规则，教职员躬亲共守。6月-216月-21Wednesday,June9,2021

10、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话。09:13:4409:13:4409:136/9/20219:13:44AM

11、一个好的教师，是一个懂得心理学和教育学的人。6月-2109:13:4409:13Jun-2109-Jun-21

12、要记住，你不仅是教课的教师，也是学生的教育者，生活的导师和道德的引路人。09:13:4409:13:4409:13Wednesday,June9,2021

13、Hewhoseizetherightmoment,istherightman.谁把握机遇，谁就心想事成。6月-216月-2109:13:4409:13:44June9,2021

14、谁要是自己还没有发展培养和教育好，他就不能发展培养和教育别人。09六月20219:13:44上午09:13:446月-21

15、一年之计，莫如树谷；十年之计，莫如树木；终身之计，莫如树人。六月219:13上午6月-2109:13June9,2021

16、提出一个问题往往比解决一个更重要。因为解决问题也许仅是一个数学上或实验上的技能而已??而提出新的问题，却需要有创造性的想像力，而且标志着科学的真正进步。2021/6/99:13:4409:13:4409June2021

17、儿童是中心，教育的措施便围绕他们而组织起来。9:13:44上午9:13上午09:13:446月-21

1、Geniusonlymeanshard-workingalloneslife.(Mendeleyer,RussianChemist)?天才只意味着终身不懈的努力。21.5.265.26.202108:3008:30:57May-2108:30

2、Ourdestinyoffersnotonlythecupofdespair,butthechaliceofopportunity.(RichardNixon,AmericanPresident)命运给予我们的不是失望之酒，而是机会之杯。二〇二一年五月二十六日2021年5月26日星期三

3、Patienceisbitter,butitsfruitissweet.(JeanJacquesRousseau,Frenchthinker)忍耐是痛苦的，但它的果实是甜蜜的。08:305.26.202108:305.26.202108:3008:30:575.26.202108:305.26.2021

4、Allthatyoudo,dowithyourmight;thingsdonebyhalvesareneverdoneright.----R.H.Stoddard,Americanpoet做一切事都应尽力而为，半途而废永远不行5.26.20215.26.202108:3008:3008:30:5708:30:57

5、Youhavetobelieveinyourself.Thatsthesecretofsuccess.----CharlesChaplin人必须相信自己，这是成功的秘诀。-Wednesday,May26,2021May21