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《电弧离子镀CrN薄膜的组织结构与性能的研究》

一、引言

电弧离子镀技术是一种先进的薄膜制备技术，以其高沉积速率、良好的附着力和优异的薄膜性能广泛应用于工业领域。其中，CrN薄膜因具有较高的硬度、优良的耐磨性以及良好的化学稳定性而备受关注。本研究通过电弧离子镀技术制备了CrN薄膜，对其组织结构与性能进行了系统的研究，为薄膜材料的进一步应用提供理论依据。

二、实验方法

1.材料准备

选用高纯度铬靶材作为电弧离子镀的原材料，选用适当的基底材料以供薄膜沉积。

2.薄膜制备

采用电弧离子镀设备，设定适当的工艺参数，如工作气压、基底温度、电弧电流等，进行CrN薄膜的制备。

3.性能测试与结构分析