新建年产23吨氟类特气（四氟化锗、三氟化磷）项目环境影响报告书.pdf

目录

概述1

1项目由来1

2分析判定相关情况2

3环境影响评价的工作过程2

4环境影响评价关注的主要问题3

5主要评价结论4

1总则5

1.1编制依据5

1.2评价因子与评价标准8

1.3评价工作等级及评价范围13

1.4政策及规划相符性分析19

1.5环境保护目标37

2现有工程回顾41

2.1企业概况41

2.2现有工程基本概况42

2.3污染物排放及达标排放情况52

2.4防护距离设置58

2.5总量达标分析58

2.6存在的环境问题及整改措施58

3拟建项目概况及工程分析59

3.1项目概况59

3.2工程分析错误！未定义书签。

3.3非正常工况分析67

3.4污染物排放量汇总67

3.5清洁生产分析68

4环境现状调查与评价70

4.1自然环境概况70

4.2环境质量现状调查与评价74

4.3区域污染源概况92

5环境影响预测与评价95

5.1施工期环境影响分析95

5.2运营期大气环境影响分析99

5.3运营期声环境影响分析131

5.4运营期固体废物环境影响分析133

5.5运营期地下水环境影响分析135

5.6运营期土壤环境影响分析142

5.7地表水环境影响分析146

5.8生态环境影响分析150

6环境风险分析评价151

6.1评价原则与工作程序151

6.2现有工程风险防范措施151

6.3风险调查159

6.4风险潜势初判159

6.5评价等级及评价范围165

6.6环境风险识别166

6.7风险事故情形分析173

6.8风险预测与评价176

6.9环境风险管理190

6.10评价结论与建议195

7环境保护措施及其可行性论证199

7.1废气污染防治措施199

7.2废水污染防治措施202

7.3噪声污染防治措施203

7.4固废污染防治措施204

7.5地下水污染防治措施206

7.6土壤污染防治措施210

7.7生态影响保护措施211

8环境影响经济损益分析213

8.1环保投资估算213

8.2环境效益分析213

9环境管理与监测计划215

9.1环境管理215

9.2总量指标217

9.3环境监测计划217

9.4排污口规范化设置219

9.6环保“三同时”验收一览表220

10环境影响评价结论222

10.1建设项目概况222

10.2产业政策、规划及“三线一单”相符性222

10.3环境质量现状222

10.4污染物排放及防治对策223

10.5主要环境影响224

10.6环境风险分析226

10.7公众意见采纳情况227

10.8环境管理与监测计划227

10.9综合评价结论228

概述

1项目由来

20131126

全椒南大光电材料有限公司成立于年月日，公司主要从事高新技术光电子

及微电子材料的研究、开发、生产、销售，高新技术成果的培育和产业化。公司已建立了高

纯电子材料研发平台，为公司新的高纯电子材料产品的研发和产业化提供技术保障。

在半导体领域，四氟化锗主要用于掺杂和离子注入环节。它可以与乙硅烷气体结合，在

玻璃基底上直接制造硅锗微晶，进而用于制造低噪声低温放大器、整流器、振荡器等半导体

器件。此外，高丰度的72Ge同位素形式的四氟化锗也在预非晶化注入工艺中应用，以防止

硅晶片注入掺杂剂通道，从而优化器件的性能和速度。在半导体制造中，三氟化磷主要应用

于离子注入和刻蚀工艺，用于改变半导体的电学性质以及精确去除硅片上的特定材料层。

随着半导体行业的迅速