纳米氮化铝粉体的制备及应用研究进展.docx

Hans汉斯HansJournalofNanotechnology纳米技术,2022,12(2),

Hans汉斯

PublishedOnlineMay2022inHans./journal/nat

/10.12677/nat.2022.122007

纳米氮化铝粉体的制备及应用研究进展

宋志键1，刘世凯1*，黄威2，徐天兵2，陈颖鑫1，孙亚光1

1河南工业大学材料科学与工程学院，河南郑州2连云港市沃鑫高新材料有限公司，江苏连云港

收稿日期：2022年4月11日；录用日期：2022年5月11日；发布日期：2022年5月19日

摘要

纳米氮化铝(AlN)具有优良的热导率、电学性能和力学性能，被广泛应用于新一代半导体器件。氮化铝器件的性能表现取决于氮化铝粉体的质量，因此，优质氮化铝粉体的制备是氮化铝行业发展的关键。本文综述了氮化铝的纳米粉体制备及相关应用的研究进展，并讨论了氮化铝的发展方向。

关键词

氮化铝，纳米粉体，制备方法，应用领域，研究进展

ProgressinPreparationandApplicationofAluminumNitridePowder

ZhijianSong1,ShikaiLiu1*,WeiHuang2,TianbingXu2,YingxinChen1,YaguangSun1

1SchoolofMaterialsScienceandEngineering,HenanUniversityofTechnology,ZhengzhouHenan2LianyungangWoxinHigh-TechMaterialCo.,Ltd.,LianyungangJiangsu

Received:Apr.11th,2022;accepted:May11th,2022;published:May19th,2022

Abstract

Nanoaluminumnitride(AlN)hasexcellentthermalconductivity,electricalandmechanicalprop-erties,andiswidelyusedinthenewgenerationofsemiconductordevices.TheperformanceofAlNdevicesdependsonthequalityofAlNpowders.Therefore,thepreparationofhighqualityAlNpowdersisthekeytothedevelopmentofAlNindustry.Inthispaper,thepreparationandapplica-tionofaluminumnitridenanoparticlesarereviewed,andthedevelopmentdirectionofaluminumnitrideisdiscussed.

*通讯作者。

文章引用:宋志键,刘世凯,黄威,徐天兵,陈颖鑫,孙亚光.纳米氮化铝粉体的制备及应用研究进展[J].纳米技术,2022,12(2):49-55.DOI:10.12677/nat.2022.122007

宋志键等

DOI:10.12677/nat.2022.12200750纳米技术

Keywords

AluminumNitride,NanoPowder,PreparationMethod,ApplicationField,ResearchProgress

Copyright?2022byauthor(s)andHansPublishersInc.

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/licenses/by/4.0/

OpenAccess

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