《氮化铝加热器》征求意见稿.docx

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氮化铝加热器

1范围

本文件规定了氮化铝加热器的结构形式和材料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于氮化铝加热器（以下简称“加热器”）的生产和检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

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3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4结构型式和材料

4.1结构形式

加热器氮化铝加热器包括第一氮化铝基板、加热电路、第二氮化铝基板和导线，所述导线与加热电路电性连接。

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标引序号说明：

1——第一氮化铝基板；2——加热电路；

3——第二氮化铝基板；4——导线。

图1结构示意图

4.2材料

4.2.1加热电路设于第一氮化铝基板和第二氮化铝基板之间，加热电路由金属浆料印刷而成，金属浆料中所含金属应包括W、Mo、AlN和WC/WC-TiC。

4.2.2金属浆料所含金属重量比宜为W：Mo：AlN：WC＝（50～70）：（10～20）：（20～30）：m。其中，m的范围应为0＜m≤5。WC-TiC中，WC与TiC可按照任意比例混合。

4.2.3各金属粉体粒度应为：

a)W/Mo粉体：（1～2）μm；

b)AlN粉体：（0.3～0.5）μm；

c)WC粉体：（0.2～0.3）μm。

5技术要求

5.1外观

5.1.1加热器应符合本文件的要求，并按照经规定程序批准的工艺及技术文件制造。

5.1.2加热器表面应干净整洁，无明显油污、色渍，无划痕等缺陷。

5.1.3基片外观应无裂纹、斑点、缺损等缺陷。

5.1.4表面应光滑，色泽一致，镀层（如有）无脱皮、起泡、锈迹等缺陷。

5.1.5加热器应颜色均匀，无褪色、落色现象，同批产品应无明显色差。

5.2尺寸偏差和形位公差

基板的长宽尺寸偏差最小值应为0.05mm，厚度偏差最小值应为0.025mm，尺寸偏差和形位公差应符合表1的规定。

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表1尺寸偏差和形位公差

项目

允许偏差

Ⅰ类

Ⅱ类

Ⅲ类

长度、宽度

±0.3%

±0.7%

±1%

厚度

±5%

±8%

±10%

翘曲度（长度方向）

≤0.2%

0.2%,≤0.3%

0.3%,≤0.4%

工作面粗糙度

≤0.5μm

注：特殊规格的产品由供需双方商定。

5.3性能指标

性能指标应符合表2的规定。

表2性能指标

项目

指标

A

B

体积密度/(g/cm)

≥3.3

显气孔率/%

0

弯曲强度/MPa

≥300

热导率（RT)/[W/(m·K)]

170～220

≥220

线热膨胀系数（RT～800℃)/(1/K)

4.5×10～5.5×10

体积电阻率（25℃)/(Ω·cm)

10

击穿强度（DC)/(kV/mm)

15

介电常数（1MHz)

8.5～9.5

介电损耗角正切值（1MHz)

≤3×10

6试验方法

6.1外观

在适当光线下目检外观，按GB/T14619—2013中6.5.8的要求浸色液后检测裂纹。

6.2尺寸偏差和形位公差

6.2.1基片的长度和宽度使用精确度为0.02mm的游标卡尺或其他能够保证测量准确度的测量仪器测量。

6.2.2厚度使用准确度为0.01mm的千分尺或其他能够保证测量准确度的测量仪器测量，测量点最少应距基片边缘1mm。

6.2.3翘曲度按GB/T30859规定的方法检测。

6.2.4工作面粗糙度按GB/T6062规定的方法检测。

6.3性能指标