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浙江光普能源有限公司

多晶硅片生产工艺介绍

多晶硅片生产技术部

目录

一、光伏产业链

、多晶硅片生产流程

三、半导体和硅材料

四、多晶硅片生产技术指标（简介）

一、光伏产业链

“晶体硅原料生产”+“硅棒/硅锭生产”为光伏产业链上游；“

太阳能电池制造”+“组件生产”+“光伏产品生产”为光伏产业

链中游；“光伏发电系”为光伏产业链下游。

、多晶硅片生产流程

多晶硅片的生产流程包括：多晶原料清洗、检测→坩

涂→多晶→硅剖方→硅→去头尾→磨面、

倒角→粘胶→切片→硅片脱胶→硅片清洗→硅片检验→硅片

包装→硅片入库

2.1多晶铸锭生产流程

公司铸锭用多晶炉为JJL500型

多晶炉，一次装载量在500KG，硅加热器长晶方向

料在高温下加热熔化。长晶过程中

，通过伺服控制器控制热交换台的

上升、下降以达到长晶的目的。长

晶的方向为向上生长，热流方向向

硅溶液

下，如右图所示。

热交换台

热流方向

硅锭经剖方后进行少子寿

命、电阻率、杂质等的检测，如

左图所示，为硅块的少子寿命截

面图。

2.2多晶切片生产流程

去头尾：将硅块的头部和尾部去除配置砂浆：砂浆是为开方和切片用的

粘胶：将硅块粘接在晶托上，为切片：用WIRESAW将硅块切割成硅

切片做准备。片（wafer）

切割后多晶硅片

多晶硅片生产设备一览

主要工序使用设备产品业内主流设备

多晶原料（原生硅、循环

原料清洗硅料酸洗、碱洗机、硅料烘箱张家港超声清洗设备

料）

坩埚喷涂喷涂站、坩埚烘箱喷涂后坩埚

美国GT、德国ALD、绍兴精

多晶铸锭多晶铸锭炉多晶硅锭

工

硅锭剖方剖方机多晶硅块HCT、上海日进

少子寿命检测仪、杂质探伤仪、碳Semilab(施美乐伯）设备系

硅块检验划线后硅块

氧含量检测仪