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化合物半导体的外延生长设备合作协议书
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化合物半导体的外延生长设备合作协议书
目录
TOC\h\z5464序言 3
13550一、建设规划分析 3
3561(一)、产品规划 3
21424(二)、建设规模 4
26724二、后期运营与管理 5
12194(一)、化合物半导体的外延生长设备项目运营管理机制 5
25481(二)、人员培训与知识转移 6
7651(三)、设备维护与保养 6
21460(四)、定期检查与评估 7
3441三、工程设计说明 8
28411(一)、建筑工程设计原则 8
32048(二
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