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轧制道次对冷轧IF钢箔力学性能的影响研究
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前言
随着科学技术的进步和人们生活质量的提高,许多电子和工业产品开始朝着精密化、微型化、智能化的方向发展,同时对微材料的力学性能提出了各种各样的要求。从20世纪80年代开始,微机电系统(MEMS,MicroElectroMechanicalSystems)和微系统技术(MST,MicroSystemTechnology)得到了快速的发展并开始进入实用化,广泛应用于各个领域,对微型零件的需求量也日益增加。MEMS器件的主要分类有生物,传感,射频和光学四大方面[1]。
金属箔是一种在两个维度上的尺寸较大,
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