《防微振隔振器性能检测规范》征求意见稿.docx

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T/CASMESXXX—2024

防微振隔振器性能检测规范

1范围

本文件规定了防微振隔振器性能检测的产品分类、基本要求、检测要求、检验规则。本文件适用于防微振隔振器性能检测。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T531.1硫化橡胶或热塑性橡胶压入硬度试验方法第1部分：邵氏硬度计法（邵尔硬度）GB/T528硫化橡胶或热塑性橡胶拉伸应力应变性能的测定

GB/T1222弹簧钢

GB/T2423.18环境试验第2部分：试验方法试验Kb：盐雾，交变（氯化钠溶液）

GB/T2423.102电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验：温度（低温、高温）/低气压/振动（正弦）综合

GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划GB/T3512硫化橡胶或热塑性橡胶热空气加速老化和耐热试验

GB/T7759.1硫化橡胶或热塑性橡胶压缩永久变形的测定第1部分：在常温及高温条件下GB/T7759.2硫化橡胶或热塑性橡胶压缩永久变形的测定第2部分：在低温条件下

GB/T9286色漆和清漆划格试验

GB/T11211硫化橡胶或热塑性橡胶与金属粘合强度的测定二板法GB/T13452.2色漆和清漆漆膜厚度的测定

GB/T15168振动与冲击隔离器静、动态性能测试方法SJ/T10178隔振器特性测试方法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。3.1

微振动microvibration

影响精密设备及仪器正常运行的振动幅值较低的环境振动。3.2

容许振动值allowablevibrationvalue

保证精密设备及仪器能正常运行的支承结构处的最大振动量值。

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隔振器vibrationisolators具有衰减振动功能的支撑元件。

3.4

零刚度传感器zeroStiffnessSensor高灵敏度压电式加速度传感器。

3.5

信号发生器signalgenerator

具有集函数信号发生器、任意波形发生器、脉冲信号发生器、噪声发生器、VCO、计数器、频率计、扫频等功能的信号发生装置。

3.6

检测点detectionpoint

位于夹具、振动台或试验样品上的点。并且要求尽可能接近于一个固定点，在任何情况下都要与固定点刚性连接。

4产品分类

防微振隔振器可分为：

a)零刚度隔振器系列：

1)手动零刚度隔振器；

2)自动零刚度隔振器；

3)自动调节零刚度隔振桌面；

4)模块化零刚度隔振系统。

a)超阻尼气浮隔振器系列：

1)超薄型超阻尼气浮隔振器；

2)标准型超阻尼气浮隔振器。

b)宁静主动隔振器

注1：零刚度隔振器基于零刚度振动控制技术、自适应姿态电控技术、正负刚度匹配机制与基于波阻设计的结构匹配方法制备的被动减振降噪装置。

注2：超阻尼气浮隔振器是具有较高承载能力的，最低可实现1Hz以上振动有效隔离的变阻尼气浮隔振装置。注3：宁静系列主动隔振器是具有全频段隔振功能的主动隔振装置。

5基本要求

5.1检测步骤

检测应按以下步骤：

a)编写检测方案、做好检测准备；

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b)实施检测；

c)对检测数据进行处理，分析计算；

d)编写检测报告。

5.2检测报告

报告应包含以下基本信息：

a)检测项目；

b)检测日期；

c)主要检测设备名称、型号、最大允许误差；

d)检测结果；

e)检测人员和技术负责人。

6检测要求

6.1一般要求

6.1.1容许振动值

用于评价电子工业用精密设备及仪器、纳米实验室及物理实验室用精密设备及仪器在频域范围内竖直向和水平向的容许振动值可按表1采用。

表1电子工业、纳米实验室、物理实验室用精密设备及仪器容许振动值

精密设备及仪器

容许振动速度μm/s

容许振动加速度m/s

对应频段Hz

纳米研发装置（VC-G）

0.78

1～100

纳米试验装置（VC-F）

1.60

—

1～1100

长路径激光设备、0.1μm的超精密加工及检测装置（VC-E）

3.00

—

1～1100

0.lμm～0.3μm的超精密加工及检测装置、电子束装置、电子显微镜（透射电镜、扫描电镜等）（VC-D）

6.00

1～1100

Lμm～3μm（小于3μm