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西安交通大学本科毕业设计（论文）
摘要
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摘要
类金刚石碳薄膜（diamond-likecarbonfilms，简称DLC薄膜），是一种含有类似金刚石结构的非晶碳膜，因其低摩擦系数，化学惰性，高电阻率和半导体特性等特殊性能而备受关注。因此，DLC膜广泛用于太空机械、工模具、红外光学、汽车、电子和生物医学应用等领域。研究发现表明类金刚石碳薄膜（DLC）中存在较大的残余应力，削弱了薄膜与基体之间的结合强度，极易导致薄膜在使用过程中剥落失效，同时也会限制薄膜的沉积厚度，另外DLC薄膜还存在摩擦学行为对使用环境过于敏感的缺点，这些因素均会限制DLC
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