海外半导体设备巨头巡礼系列：先晶（ASM）深耕薄膜沉积外延设备，专业化布局的半导体设备龙头.pdfVIP

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海外半导体设备巨头巡礼系列：

先晶（ASM）深耕薄膜沉积外延设备，

专业化布局的半导体设备龙头

证券分析师：周尔双

执业证书编号：S0600515110002

zhouersh@

证券分析师：李文意

执业证书编号：S0600524080005

liwenyi@

2024年12月02日

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投资要点

⚫ASM早期以CVD技术起家，后通过收购发展为全球ALD碳化硅外延设备巨头。从1990年代起，ASM开始专注于ALD

设备的研发和商业化应用。在1994年和2004年，ASM分别收购了ASMMicrochemistry（专注于ALD设备的研发）和ASM

GenitechKorea（专注于PEALD设备的研发）。到了2007年，公司的PulsarALD设备成为全球首个用于大规模生产采用

新型铪基High-K介电材料器件的系统，由此确立了其作为全球最大的ALD设备供应商的地位，市场占有率超过50%。进

入2020年代后，ASM进一步拓展业务，将碳化硅外延设备作为公司的第二增长曲线。2022年，公司收购了位于意大利的

LPE公司，正式进入碳化硅外延设备市场。电动汽车市场的快速增长，成为了推动这一市场迅速扩张的主要动力。

⚫随着AI与先进制程发展对半导体需求的日益增高，叠加3DDRAM和3DNAND存储芯片陆续完成研发扩产，ALD技术已

成为半导体晶圆设备中增长最快的领域之一。根据ASM在2023年投资者日披露的信息，2022年全球ALD市场规模达到26

亿美元，预计到2025年全球ALD市场规模将增长至31亿至37亿美元，到2027年市场规模将达到42亿至50亿美元，2022至

2027年间的复合年增长率（CAGR）预计为10%至14%。作为全球领先的ALD设备供应商，ASM公司将从这一增长趋势

中获益。

⚫ASM在硅外延技术方面占据全球第二大供应商的地位。2022年，ASM通过收购意大利LPE公司，拓展了碳化硅外延设备

的新业务线，这一领域已成为公司增长最快的业务之一。ASM提供包括Epsilon、Intreprid在内的硅外延设备，以及

PE106/108和PE208等碳化硅外延设备，后者以其双腔室设计和全盒式操作提高了设备维护的便捷性。随着新能源汽车市

场的快速增长，预计到2027年，新能源汽车导电型SiC功率器件市场规模将达到50亿美元。ASM凭借其在碳化硅外延设

备领域的技术优势，有望在这一增长趋势中充分受益。

⚫展望国内，看好专业化布局的微导纳米引领ALD国产替代，与拓荆科技和北方华创一同成为国内ALD技术的先行者。碳

化硅业务方面，我国晶盛机电在全球碳化硅产业中占据重要地位，其碳化硅外延炉出货量国内领先，全面覆盖6-8寸主

流技术路线，并且必威体育精装版发布的8英寸双片式碳化硅外延炉在产能和成本效益上都有显著提升，看好晶盛碳化硅业务跟随

新能源汽车和光伏发电等新兴领域快速放量。

⚫风险提示：半导体行业投资不及预期，设备国产化不及预期。

数据来源：ASMI，Wind，东吴证券研究所2

目录

公司简介：荷兰半导体设备企业之父，深耕

1ALD/外延设备

ALD沉积设备：ASM为全球ALD设备龙头，

2受益