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A-Scan扫描模式
当材料内部的声阻抗发生改变时,一部分声波会被反射回来,剩余的声波会继续穿过样品或分界
面,如:在晶界边界、内含物、裂纹、空洞、孔洞和分层等。
A-Scan的重要性:
显示从样品表面的时间-距离的关系;
分层和材料识别基于反射回波信号的极性;
通过设定不同的电子门限来研究样品内部特定深度的不规则的特性;
材料的特性;
B-Scan
B-Scan扫描模式
B-Scan得到的图像是穿过样品横截面的信息;
检查的厚度是由B-Scan的门限的宽度决定的(Thickness=V×T)
实例如下:为同一样品不同位置的B-Scan图像;
通过B-Scan横截面图像可以判断:
界面的数量;
界面的深度;
缺陷的深度;
注:KSI新增加了新的P-Scan扫描模式:一种自动执行多次B-Scan的扫描模式。
C-Scan
C-Scan扫描模式
C-Scan图像是样品内部某一层(具有一定厚度信息)的图像;
扫描层的厚度由门限的宽度决定;
扫描层的深度由门限的开始位置决定;
实例如下:Wafer涂层
通过C-Scan图像可以判断:
缺陷的位置;
缺陷的形状;
缺陷的尺寸;
D-Scan扫描模式
D-Scan图像是通过样品对角线的图像;
实例如下:
通过D-Scan图像可以判断:
快速的了解样品内部的结构;
对于斜焊接,通过设置门限的宽度和开始位置可以有效的检测焊接界面的缺陷;
G-Scan
G-Scan扫描模式
G-Scan扫描模式是多层扫描模式,区别与X-Scan扫描模式,在G-Scan扫描模式中,
每一层扫描图像的门限开始位置,门限宽度都可以分别设置,包括增益、发射能量、
滤波方式等也可以不同,每设置一个参数,可以存储在G-Scan存储器中,最后执行
G-Scan,一次或多次在监视器上出现存储参数的图像;
实例如下:同一样品,设置不同的门限参数存储后执行G-Scan图像
X-Scan
X-Scan扫描模式
X-Scan扫描模式只要是设定一个扫描的总厚度门限,然后设定每层的门限厚度,
X-Scan扫描模式可自动的根据扫描总厚度和每层的厚度自动生成(1--n)多层C-Scan图
像;
层数的多少由设定的扫描的总厚度门限和每层厚度决定;
根据X-Scan图像可以判断(除由C-Scan图像判断出的缺陷外):
快速的了解样品内部的概况;
缺陷在不同深度的位置;
T-Scan
T-Scan扫描模式
T-Scan透射扫描模式是使用两个换能器,一个换能器用来发射超声波,超声波穿过样
品,另一侧的换能器用来接收透过样品的超声波;
实例如下:采用T-Scan扫描模式,当接收换能器没有接收到发射的超声波信
号时,用黑色表示,所以下图中黑色区域表示分层缺陷;
3D-Scan
3D-Scan扫描方式
实例如下:利用超声波反射时间重建原理来生成的硅片焊接层的3D图像
√
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