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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）实用新型专利
（10）申请公布号
CN201096557Y
（43）申请公布日2008.08.06
（21）申请号CN200720013927.4
（22）申请日2007.08.22
（71）申请人中国科学院沈阳自动化研究所
地址110016辽宁省沈阳市东陵区南塔街114号
（72）发明人于鹏;董再励;缪磊;刘连庆;刘意杨;王光宏
（74）专利代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人许宗富
（51）Int.CI
权利要求说明书说明书幅图
（54）发明名称
亚微牛顿级力测量装置
（57）摘要
本实用新型涉及基于PVDF压电材料
的微牛顿力测量技术。具体地说是亚微牛顿
级力的测量装置，它由微力感知测量头，信
号调理电路和数据采集模块构成，其中微力
感知测量头接受来自探针的微作用力，将力
信号变为电荷后送至信号调理电路，信号调
理电路将其转换成合适大小并能检测的电压
信号输出至数据采集模块，数据采集模块把
获得的电压信号经过A/D转换后利用已标定
好的微作用力与信号调理电路输出电压之间
的关系，将所述电压值换算为微力数值。采
用本实用新型解决了微装配过程中的亚微牛
顿接触力测量问题，主要用于微纳米尺度加
工、装配等技术领域。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
2008-08-06授权授权
2012-10-31专利权的终止专利权的终止
权利要求说明书
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说明书
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