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百万级洁净室判定标准

百万级洁净室是指洁净度达到百万级别（ISO6级）的无尘房间，适用于对

洁净度要求较高的行业，如半导体、光电子、医药等。以下是百万级洁净室的一

般标准和要求：

1.洁净度要求：百万级净化车间的洁净度要求为ISO6级，即每立方米空

气中的颗粒物不得超过0.1微米以上的颗粒数为100万个。

2.压差控制：百万级净化车间需要实现正压或负压控制，以防止外部空气

或污染物进入车间。通常采用空气流向控制和压差控制装置来实现。

3.HEPA（

空气过滤系统：百万级净化车间需要配备高效过滤器，如高效颗

粒空气过滤器）或ULPA（超高效颗粒空气过滤器）等，以过滤空气中的颗粒物。

4.温湿度控制：百万级净化车间需要对温度和湿度进行严格控制，以满足

工艺要求和产品质量要求。通常采用空调系统、加湿器和除湿器等设备来实现控

制。

5.静电控制：对于对静电敏感的行业，百万级净化车间需要采取静电控制

措施，如地面导电、静电消除器等，以防止静电对产品和设备的影响。

6.材料选择：百万级净化车间的装修材料需要符合洁净度要求，常见的选

择包括不锈钢、铝合金、特殊塑料等，具有耐腐蚀、易清洁、不产生颗粒物等特

点。

7.设备布局：百万级净化车间的设备布局需要合理，以确保空气流通和工作

效率。设备之间的间距和通道的设置应符合洁净度要求，并便于维护和操作。

8.照明设计：百万级净化车间的照明设计需要提供适宜的照明亮度,同时

避免光污染。选择合适的照明设备和布局，以满足工作需求和洁净度要求。

9.安全控制：百万级净化车间需要考虑安全因素，如防火、防爆、紧急逃

生等。设置安全设施和应急措施，确保车间的安全运行和人员的安全。

百万级洁净间的具体标准和要求可能会根据不同行业和具体工艺要求有所

差异。在设计和建设过程中，需要参考相关的行业标准和规范，并咨询专业的净

化工程师或顾问的意见，以确保车间的洁净度和工艺要求得到满足。