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《Al掺杂ZnO薄膜制备工艺研究》

一、引言

近年来，Al掺杂ZnO（AZO）薄膜因其优异的电学、光学和磁学性能在光电子器件、透明导电薄膜、太阳能电池等领域得到了广泛的应用。本文旨在研究Al掺杂ZnO薄膜的制备工艺，通过优化制备参数，提高薄膜的性能。

二、文献综述

Al掺杂ZnO薄膜的制备方法主要包括磁控溅射法、溶胶-凝胶法、化学气相沉积法等。其中，磁控溅射法因其制备工艺简单、成膜质量好、掺杂均匀等优点被广泛应用。然而，在制备过程中，掺杂浓度、基底温度、溅射功率等参数对薄膜性能的影响较大，需要进行深入研究。

三、实验方法

1.材料与设备

实验所需材料包括ZnO靶材、Al靶材、高纯Ar气等。实

该用户很懒，什么也没介绍

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