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中小企业管理与科技
ManagementTechnologyofSME
减少底部抗反射涂层渊BARC冤的缺陷院对优化与分离
过滤过程和打胶过程的研究
ReducingtheDefectsofBottomAnti-ReflectiveCoatings(BARC):Researchonthe
OptimizationandSeparationofFiltrationProcessandGluingProcess
朴勇男,张晨阳,邢栗,李庆斌
(沈阳芯源微电子设备股份有限公司,沈阳110168)
PIAOYong-nan,ZHANGChen-yang,XINGLi,LIQing-bin
(ShenyangKingsemiEquipmentCo.,Ltd.,Shenyang110168,China)
这
揖摘要铱半导体器件制造业是当今世界上最清洁的制造业之一。在当今最先进的晶圆厂当中,所有的物质都被过滤到最小的粒径。
但是过滤液体时相对较难,特别是光化学物质,如底部抗反射涂层(
种做法对气体来说是相当容易的,BARC),过滤器可能会出现堵
基于泵中的不
塞、过滤速率下降的问题,进而导致通过过滤器的压降增加,或者过滤器退化。论文采用三种不同的底部抗反射涂层,
同粒径的过滤介质,并分别采用不同的速率,研究打胶过程和过滤过程的相互作用。
揖AbstractSemiconductor铱devicemanufacturingindustryisoneofthecleanestmanufacturingindustriesintheworldtoday.Intodaysmost
advancedfabs,allmaterialsarefilteredtothesmallestparticlesize.Thismethodisquiteeasyforgas,butitisrelativelydifficulttofilterliquid,
especiallyforphotochemicalsubstances,suchasbottomanti-reflectivecoatings(BARC).Thefiltermaybeblockedandthefiltrationratewill
decrease,whichwillleadtotheincreaseinthepressuredropthroughthefilterordeteriorationofthefilter.Thepaperusesthreedifferent
bottomanti-reflectivecoatings,basedonthefiltermediawithdifferentparticlesizesinthepump,andusesdifferentspeedratestostudythe
interactionbetweenthegluingprocessandthefiltrationprocess.
揖关键词铱底部抗反射涂层(BARC);缺陷;过滤器;打胶
揖Keywords铱bottomanti-reflectivecoatings(BARC);defects;filter;gluing
揖中图分类号铱TN305.7揖文献标志码铱A揖文章编号铱1673-1069(2021)04-0194-03
1引言
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