减少底部抗反射涂层 .pdfVIP

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减少底部抗反射涂层渊BARC冤的缺陷院对优化与分离

过滤过程和打胶过程的研究

ReducingtheDefectsofBottomAnti-ReflectiveCoatings(BARC):Researchonthe

OptimizationandSeparationofFiltrationProcessandGluingProcess

朴勇男，张晨阳，邢栗，李庆斌

（沈阳芯源微电子设备股份有限公司，沈阳110168）

PIAOYong-nan,ZHANGChen-yang,XINGLi,LIQing-bin

(ShenyangKingsemiEquipmentCo.,Ltd.,Shenyang110168,China)

这

揖摘要铱半导体器件制造业是当今世界上最清洁的制造业之一。在当今最先进的晶圆厂当中，所有的物质都被过滤到最小的粒径。

但是过滤液体时相对较难，特别是光化学物质，如底部抗反射涂层（

种做法对气体来说是相当容易的，BARC），过滤器可能会出现堵

基于泵中的不

塞、过滤速率下降的问题，进而导致通过过滤器的压降增加，或者过滤器退化。论文采用三种不同的底部抗反射涂层，

同粒径的过滤介质，并分别采用不同的速率，研究打胶过程和过滤过程的相互作用。

揖AbstractSemiconductor铱devicemanufacturingindustryisoneofthecleanestmanufacturingindustriesintheworldtoday.Intodaysmost

advancedfabs,allmaterialsarefilteredtothesmallestparticlesize.Thismethodisquiteeasyforgas,butitisrelativelydifficulttofilterliquid,

especiallyforphotochemicalsubstances,suchasbottomanti-reflectivecoatings(BARC).Thefiltermaybeblockedandthefiltrationratewill

decrease,whichwillleadtotheincreaseinthepressuredropthroughthefilterordeteriorationofthefilter.Thepaperusesthreedifferent

bottomanti-reflectivecoatings,basedonthefiltermediawithdifferentparticlesizesinthepump,andusesdifferentspeedratestostudythe

interactionbetweenthegluingprocessandthefiltrationprocess.

揖关键词铱底部抗反射涂层（BARC）；缺陷；过滤器；打胶

揖Keywords铱bottomanti-reflectivecoatings(BARC);defects;filter;gluing

揖中图分类号铱TN305.7揖文献标志码铱A揖文章编号铱1673-1069（2021）04-0194-03

1引言