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SMT银系导电胶的导电.docx

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    1引言

    微电子机械系统技术是一种基于微/纳米技术的多学科技术。它是当今技术领域最热门的话题之一。其目标是通过小型化和集成来探索新的原理和新的功能组件和系统，从而大大提高系统的自动化、智能性和可靠性。当尺寸减小到一定范围时，许多物理现象与宏观世界完全不同[1]。对微观领域来说，力具有的表层效应和尺寸效应影响非常大，在小尺寸领域中，弹力、静电力、粘性力和表面张力的效果与较小尺寸成正比相对增加，但是电磁力和惯性力的效果却与较大尺寸的尺寸特征成比例相对减小。因此，在微观尺度上研究力学、热力学、微流体动力学、微摩擦学和微观力学的基本理论尤为重要。MEMS制造技术

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