特气管道施工与检查.pptVIP

成都天马微电子有限公司*成都天马微电子有限公司*成都天马微电子有限公司*1*特气管道施工与检查GASChemicalPart一般在半导体制造业我们把砌体分为大宗气体（BulkGas）和特种气体（SpecialGas）两种。大宗气体一般是指集中供养且用量较大的气体，涵盖制程用气如：PO2、Par、PH2、Phe，以及非制程用气如：CDA、N2、GN2等。特种气体主要有各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、蚀刻用气体以及其他广为各种制程设备机台所使用的惰性气体等。随着各种不同气体的特性，设计出不同的气体输送系统来满足各种不同制程设备的需求。特气概述二、特气的分类1*1我们将半导体制造业所使用的不同特种气体一般按照使用时的特性分为五类：2易燃性气体（FlammableGas）3毒性气体（ToxicGas）4腐蚀性气体（CorrosiveGas）5惰性气体（InertGas）6氧化性气体（OxideGas）特气管材介绍目前在半导体制程设备以及相关厂务系统中所使用的管件材料主要有不锈钢（StainlessSteel）、特氟龙（Teflon）、高密度聚乙烯（HSPE）、以及聚偏二氟乙烯（PVDF）等。其中在气体传输中一不锈钢管件的应用最为广泛，通常在所有与制程相关的制程气体（ProcessGas）的输送方面都要应用不锈钢管件。不锈钢管件主要用来传输各种制程气体的管件，尤其是一些剧毒易燃易爆的危险性气体。所以不锈钢管件的制作和施工要求在以上几种不同材质的管件中要求最为严格。0102管材分类1*不锈钢管EPBAAP?管材等级EP级（Ele?Ctrolytic?Polished）电解抛光?BA级（Bright-annealed?）光辉退火AP级（Annealed?and?Pickled?）酸洗钝化一般对于P级要求（ppb级）的制程气体的输送，均要求采用SUS316L材质的EP管材，对于一般非制程气体的输送采用SUS316L材质的BA管材。四、洁净管道安装之材料接收1*目的：主要确定管道在运送过程中包装的完整以及订购量和材质的符合步骤：一、材料订购后在接收前最好能先到原厂抽检。1.阀件取10%做氮气测漏测试以及Particles的测试。2.管件依炉号HeatNo.和管子的Size各取一支做焊接测试。3.管接头依不同的Size各取一件出来做粗超度、真圆度、Dimesion测试。二、材料到厂处理1.通知品保人员检查包装状况，在品保人员（QA/QC）准许后才可拆箱，拆箱需非常小心以免伤到管材。2.将所有送货单发票及出厂检测报告交给QA/QC人员。3.Piping和Tube的上架，同尺寸的管子会有不同的炉号，需依照炉号区分出来。4.316LEP和316LBA的管件和阀件到厂拆箱后需无尘室Class10000区存放，移入前需在擦拭干净五、洁净管道安装之材料检验1*目的：主要是为了在次确定所购买的材料质量符合标准规范。步骤：材料在移入无尘室后准备取出10%做检验检验项目：外观检验：目测表面有无凹痕 、刮伤，内表面有无缺陷、凹洞、刮伤、污点残余物。粗糙度的检验：利用粗糙度仪做内部表面粗糙度的检验。管壁厚度及外径的检验：利用光标卡尺做管外径和厚度的检验。六、洁净管道安装之焊工验证——1目的：此焊工验证的目的是要确保每位在现场或无尘焊接的人员，其焊接质量的认证并且可做日后管道追踪的管理。步骤：一、将管子分成四Group:?”~15A,20A~80A,100A~150A,200A以上。二、从每个Group中选一种尺寸的管子做焊接认证，通过后在其Group范围内的尺寸均可施工，不可跨Group施工，除非通过各个Group的认证。三、觉得认证的尺寸后焊接者需在限定的时间内完成焊接测试。四、认证者先将几台焊接数据归零，焊接者需要自行重新调整数据和管内气体流量并且要会更改钨棒和调整钨棒的间距。五、焊接者最后需完成三块试片，一块t/b(tubeonbeat)即管子直接焊接，两块t/t(tubeomtube)即管对管，对接的试焊。六、洁净管道安装之焊工验证——21*整理出一份合格者名单，传到现场给QA/QC人员，以掌控现场施工人员的施工质量。完成的试片在试片上必须填写上炉号、日期、管子的尺寸、等级和焊者的IDNo.并填一份认证表格。认证者检视完成的试片并填写认证表格的合格与否，合格者才可施工，