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性丢口识
郭小伟
（天水华天科技股份有限公司，甘肃天水７４１０００）
接２００６第８期４５页）
ＣＡＮ：
（Ｉ）Ｓｈｏｗｔｈｅｘ—ｓｅｃｔｉｏｎａｌｉｍａｇｅｆｒｏｍｅａｃｈｉｎｔｅｒ一
可以显示各个纵切面的平面图像
（２）Ｄｅｔｅｃｔａｂｌｅｄｅｆｅｃｔｓ：Ｃｒａｃｋ，ＴｉｌａｎｄｔＶｏｉｄ．■一
可发现的失效现象：裂缝、倾斜、气泡
（３）Ｍｅｒｉｔ：Ａｎａｌｙｓｉｏｆｔｓｈｅｌｅｖｅｌｏｆｄｅｆｅｃｔｓａｒｅ
ｆｉｂｌｅ．
优点：对平面的失效点进行分析
ＤｉｅＳｕｒｆａｃｅｏｆＱＦＰＤｉｍｐｌｅＰａｄＢｏｔｔｏｍｏｆＴＳＯＰ
ＱＦＰ的芯片表面ＴＳＯＰ的基岛底部凹点
１．Ｓｈｏｗｓｔｈｅ３ｓｈｅｅｔｓｏｆｈｏｕｉｌｚｏｎｔａｌｌｙＸ－ｓｅｃ—
ｔｉｏｎｅｄｉｍａｇｅｓｏｆａｌｌｉｎｔｅｒｆａｃｅｓ．
可显示３ｌ层各界面的图像
２．Ｄｅｔｅｃｔａｂｌｅｄｅｆｅｃｔｓ：Ａ１１ｋｉｎｄｓｏｆｄｅｆｅｃｔｓ．
可发现的缺点：各种各样的失效现象
３．Ｍｅｒｉｔ：
（１）Ｄｏｎｏｔｎｅｅｄｅｘｐｅｒｔｉｓｅ．不需要很专业的技术
（２）Ｄｏｎｏｔｎｅｅｄｆｏｃｕｓｉｎｇ．不需要对焦
（３）Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎｏｆａｎｙｔｈｉｎｉｎｔｅｒｆａｃｅｉｓｐｏｓｓｉｂｌｅ．
可检测很薄的界面（Ｄｅｔｅｃｔａｂｌｅｍｉｎｉｍｕｍｌａｙｅｒｔｈｉｃｋ．
ｎｅｓｓ：１．５Ｘｏｆｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ）可检测的最小厚度为１．５
倍的波长
０ＡＮ：
（１）Ｓｈｏ
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