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《引信用MEMS微执行器设计及加工方法的研究》
一、引言
随着微电子机械系统（MEMS）技术的不断发展，微执行器作为MEMS领域中的关键部件，其设计及加工方法的研究显得尤为重要。MEMS微执行器具有体积小、精度高、响应速度快等优点，在航空航天、生物医疗、汽车电子等领域有着广泛的应用前景。本文将重点研究MEMS微执行器的设计及加工方法，以期为相关领域的研究和应用提供参考。
二、MEMS微执行器设计
2.1设计要求
MEMS微执行器的设计需满足高精度、高可靠性、低功耗等要求。设计过程中需考虑执行器的结构、材料、驱动方式等因素，以确保其在实际应用中的性能表现。
2.2结构设计
结构设计是MEMS
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