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《磁控溅射法制备Cr-CrO太阳能选择吸收涂层研究》
一、引言
随着全球能源需求的增长和环境保护意识的提高，太阳能作为一种清洁、可再生的能源，其利用技术日益受到关注。太阳能选择吸收涂层是太阳能利用技术中的关键组成部分，它直接影响到太阳能电池的光电转换效率。因此，研究和开发高效、稳定的太阳能选择吸收涂层具有重要的意义。磁控溅射法作为一种成熟的薄膜制备技术，在太阳能选择吸收涂层的制备中得到了广泛的应用。本文旨在研究磁控溅射法制备Cr-CrO太阳能选择吸收涂层的工艺过程及性能分析。
二、研究内容
1.实验材料与方法
本研究采用磁控溅射法，以金属铬（Cr）为靶材，通过控制溅射条件和后处理过程，制备出
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