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半导体制造工艺第2版张渊答案解析.pdf

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    第一章习题答案

    1-1什么是集成电路

    解：集成电路是通过一系列特定的平面制造エ艺,将晶体管、二管等有源

    器件和电阻、电容等无源器件，按照一定的电路互联关系，“集成’’在ー块半导体

    单晶片上,冰封装在ー个保护外売内,能执行特定功能的复杂电子系统。

    1-2集成电路制造的主要工艺有哪些

    解:重复清洗、氧化、化学气相淀积、金属化、光刻、刻蚀、掺杂和平坦化。

    1-3画出集成电路中电阻、电容、二极管、晶体管、场效应晶体管和CMOS

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