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多吸收区MEMS热电堆传感器的设计与分析.pdf

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摘要

红外传感器是一种将红外辐射量转换为可以观测物理量的器件,在军用和民用领域

有着非常广泛的应用。红外传感器的种类主要分为光子式红外传感器和热式红外传感器。

光子式红外传感器虽然有着较高的响应频率,但是探测波段较窄且正常工作时需要制冷,

在复杂的应用场景中,制冷系统的成本非常高昂。热红外传感器恰恰能够克服这个缺点。

而作为热红外传感器重要的一种,热电堆红外传感器有着工作时无需制冷、体积小、生

产成本低等优点并成为研究热点。然而,热电堆传感器存在输出性能与光子式传感器相

比较低,工艺兼容性差等问题。

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