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维普资讯
第3卷第4期纳米器件与技术Vo1．3No．4
2006年8月Nanodevics＆TechnologyAugust2006
纳米操作系统的研究现状与关键技术
王乐锋，荣伟彬，孙立宁
(哈尔滨工业大学机器人研究所，黑龙江哈尔滨150001)
摘要：介绍了目前典型纳米操作系统的特点，阐述了末端工具、显微成像、定位与驱动等关键技
术，并对纳米操作系统的发展趋势进行了展望。
关键词：纳米操作系统；研究现状；关键技术；发展趋势
ResearchingStatusandKeyTechnologiesofNanomanipulationSystems
WANGLe-feng，RONGWei-bin，SUNLi-ning
(RoboticsResearchInstituteofHIT，Hrabin150001，China)
Abstract：Theresearchingstatusofnanomanipulatingsystemsispresentedbasedonthemicroscopesused．Thekey
technologiessuchasend-effectors，microscopes，positioningandactuatorsareanalyzed．Intheend，thedevelopmenttrends
ofnanomanipulatingsystemsarediscussed．
Keywords：nanomanipulation；researchingstatus；keytechnologies；developmenttrends
中图分类号：TH703文献标识码：A文章编号：1812—1918(2006)04—0026—05
0引言作的系统。理想的纳米操作系统应能完成的功能
包括定位、推、拉、拾取、放置、装配等各种操作。一
近年来纳米科学和技术得到了广泛的重视并般来说，完整的纳米操作系统包括纳米尺度对象
获得了迅速发展。各种纳米材料、纳米器件不断涌成像设备、操作手、(亚)纳米分辨率驱动器、力传
现．纳米测量、纳米级超精密加工、纳米电子学都感设备、人机交互设备等部分。下面将从系统角度
有了新的发展，与纳机电系统(NEMS)相关的研究和关键技术角度来论述目前纳米操作系统的研究
工作也在很多实验室展开。作为纳米科技领域的状况
关键技术之一，纳米操作可用于介观现象的科学
探索，构建原型纳米设备，是测试纳米材料、结构2典型纳米操作系统
和装置的性质特征的基本技术。另外，纳米操作可
放大纳米物质并将清晰的纳米世界呈现在人
用于纳米级微结构的加工，也是纳米设备单元准
们眼前，是纳米操作技术发展中不可或缺的基础
备和纳米设备装配的必备技术。本文将介绍纳米
环节。因此本文将根据纳米操作中所使用显微镜
操作系统的研究现状，分析其关键技术，并对未来
的不同综述纳米操作系统的研究现状。目前典型
的发展趋势进行展望。
的纳米操作系统主要有：基于扫描探针显微镜
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