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薄膜物理与技术》课程教学大纲

发布时间：2010-4-28点击率：191

一、课程总述

本课程大纲是以2006年电子科学与技术专业人才培养方案为依据编制的。

课程名称薄膜物理与技术课程代码17683

课程性质选修课先修课程固体物理

总学时数48周学时数3

开课院系电子学院任课教师

编写人胡光辉编写时间2006年9月

课程负责人余泉茂大纲主审人熊新强

杨邦朝，王文生，《薄膜物理与技术》，电子科技大学出版社，1994

使用教材

年1月

郑传涛，薄膜材料与薄膜技术，化学工业出版社，2004-1；

田民波，薄膜技术与薄膜材料，清华大学出版社，2006-8；

教学参考资

料

（美）J.L.沃森著，《薄膜加工工艺》1987.3

薛址泉著，《薄膜物理》，电子工业出版社1991.9

薄膜材料以其独特的性质，为促进器件微型化、集成化发挥了重要作

课程教学目用。通过本课程的讲授，使学生在薄膜物理基础部分，懂得薄膜形成物

的理过程及其特征，薄膜的电磁学、光学、力学、化学等性质。在薄膜技

术部分初步掌握各种成膜技术的基本内容以及薄膜性能的检测。

掌握物理、化学气相沉积法制膜技术，了解其它一些成膜技术。学会对

不同需求的薄膜，应选用不同的制膜技术。了解各种薄膜形成的过程及

课程教学要

其物理特性。理解并能运用热力学界面能理论及原子聚集理论解释薄膜

求

形成过程中的一些现象，了解薄膜结构及分析方法，理解薄膜材料的一

些基本特性，为薄膜的应用打下良好的基础。

重点：真空的获得和真空测量的工作原理；物理气相沉积和化学气相沉

本课程的重积的原理及方法；薄膜生长的机理。

点和难点

难点：磁控溅射的机理及控制；MOCVD技术；薄膜形成过程的机理；

以期末考核成绩为主，平时考核成绩为辅。期末考核成绩占70%。

课程考试平时考核成绩占30%。期末考核方法为闭卷笔试，考试范围为课程所有

内容。平时考核由考勤、平时测验、课堂作业等综合评定。

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二、教学时数分配

章目教学时数分配

教学内容

课堂讲授实验（上机）

1真空技术基础2

2真空蒸发镀膜6

3溅射镀膜8

4离子镀膜3

5化学气相沉积4

6溶液镀膜法3

7薄膜的形成