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《引信用MEMS微驱动器的设计与仿真分析》

一、引言

随着微电子技术的快速发展，微机电系统（MEMS）在各个领域的应用日益广泛。MEMS微驱动器作为MEMS技术的重要组成部分，其设计与性能的优劣直接关系到整个系统的运行效果。本文将重点探讨MEMS微驱动器的设计原理、方法及仿真分析，以期为相关领域的研究与应用提供参考。

二、MEMS微驱动器设计原理

MEMS微驱动器是一种利用微电子机械加工技术制造的微型执行器，其设计原理主要涉及静电驱动、热驱动、电磁驱动等多种方式。其中，静电驱动因其结构简单、功耗低等优点，在MEMS微驱动器设计中得到广泛应用。

静电驱动的MEMS微驱动器主要由固定电极和可动电极