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太阳电池ZnO、AZO和TiN薄膜的ALD制备及光电性质研究.pdf

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    摘要

    近年来，太阳电池因其清洁、可再生的特性而受到广泛关注。在太阳电池的应用与

    发展中，各类功能薄膜是至关重要的材料之一，它们对于提高太阳电池的光电转换效率、

    稳定性和寿命等具有着重要的影响。氧化锌（ZnO）系透明导电薄膜因其宽带隙、高透

    光性、低电阻率和良好的稳定性等特点，是目前太阳电池中比较常用的窗口层和缓冲层

    材料之一，但是其导电性仍有较大的提升空间。铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜具有高导电

    率、良好的透光率和优异的稳定性，是太阳电池透明导电层的重要材料之一。高转换效

    率的太阳电池需要选择具

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