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蚀刻机项目评估报告
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蚀刻机项目评估报告
目录
TOC\h\z16718序言 4
5939一、工艺方案的选择 4
25670(一)、基本要求 4
19005(二)、典型工艺技术介绍 5
17524(三)、蚀刻机项目组成 7
22121(四)、工艺技术方案的选择 8
20460(五)、工艺技术方案的设计 9
432二、投资估算与资金筹措 11
19495(一)、投资估算依据及范围 11
23914(二)、固定资产投资总额 12
26590(三)、铺底流动资金和建设期利息 15
7481(四)、资金筹措 1
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