一种柔性热敏传感器及其制备方法.pdfVIP

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(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN114544024A

(43)申请公布日2022.05.27

(21)申请号CN202210165881.7

(22)申请日2022.02.21

(71)申请人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号

(72)发明人李春张锐兰长勇林杰刘力文

(74)专利代理机构

代理人

(51)Int.CI

G01K7/22

C23C14/35

C23C14/24

C23C14/14

C23C14/58

C23C14/04

C23C16/30

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种柔性热敏传感器及其制备方法

(57)摘要

本发明公开了一种柔性热敏传感器

及其制备方法,所述柔性热敏传感器包括

柔性衬底、位于衬底上的二硒化钯(PdSe2)

热敏薄膜、金属电极及聚合物封装钝化

膜。所述制备方法具体步骤为:在柔性衬

底上直接生长或者转移一层二硒化钯薄

膜,二硒化钯通过等离子体增强化学气相

沉积法(PECVD)硒化制备而成,在二硒化

钯上镀金属电极,使用聚合物膜封装。本

发明的优点是低温兼容柔性基底,工艺简

洁,易于集成,便于大规模生产高灵敏性

柔性热阻型热敏传感器。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

2022-05-27公开发明专利申请公布

实质审查的生效IPC(主分

类):G01K7/22专利申请

2022-06-14实质审查的生效

号:2022101658817申请

发明专利申请公布后的撤回

IPC(主分类):G01K7/22专利申发明专利申请公布后

2022-12-02

请号:2022101658817申请公布的撤回

权利要求说明书

【一种柔性热敏传感器及其制备方法】的权利说明书内容是请下载后查看

说明书

【一种柔性热敏传感器及其制备方法】的说明书内容是请下载后查看

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