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2023年半导体用石英玻璃材料项目可行性研究方案.docx

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    半导体用石英玻璃材料项目可行性研究方案

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    半导体用石英玻璃材料项目可行性研究方案

    目录

    TOC\h\z10711序言 3

    4924一、半导体用石英玻璃材料项目建设单位基本情况 3

    16338(一)、半导体用石英玻璃材料项目建设单位基本情况 3

    14066(二)、半导体用石英玻璃材料项目主管单位基本情况 5

    30040(三)、半导体用石英玻璃材料项目技术协作单位基本情况 7

    16264二、工艺方案的选择 8

    16063(一)、基本要求 8

    7667(二)、典型工艺技术介绍 10

    18237(三)、半导体用石英玻璃材料项目组成

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