电子级五（二甲氨基）钽.pdf

ICS31.030

CCSL90

中华人民共和国国家标准

GB/TXXXXX-XXXX

电子级五（二甲氨基）钽

Electronicgradepentakis（dimethylamide）tantalum

（征求意见稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

GB/TXXXXX—XXXX

电子级五（二甲氨基）钽

1范围

本文件规定了半导体行业用电子级五（二甲氨基）钽的技术要求、试验方法、分析方法与结果评价、

检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求。

本文件适用于制备TaN、TaCN、TaO等钽基薄膜的电子级五（二甲氨基）钽。

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2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB190危险货物包装标志

GB15258化学品安全标签编写规定

GB20587化学品分类、警示标签和警示性说明安全规范遇水放出易燃气体的物质

GB/T6679固体化工产品采样通则

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T11446.1电子级水

GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

GB/T37837四极杆电感耦合等离子体质谱方法通则

GB/T34672离子色谱法测定通则

SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则

GB/T32566不锈钢焊接气瓶

GB12463危险货物运输包装通用技术条件

GB15603危险化学品仓库储存通则

TSG23气体安全技术规程

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

电子级五（二甲氨基）钽产品

作为前驱体材料用于制备TaN、TaCN、TaO等钽基薄膜的电子级五（二甲氨基）钽产品，作为半

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导体芯片的阻挡层、Hi-K介电层等功能层。

4技术要求

电子级五（二甲氨基）钽应符合表1的规定。

1

GB/TXXXXX—XXXX

表1集成电路用电子级五（二甲氨基）钽技术指标要求

项目技术指标

五（二甲氨基）钽纯度（Ta(N（CH)））/10-2≥99.5

325

银（Ag）含量/（ng/g）≤30

铝（Al）含量/（ng/g）≤30

砷（As）含量/（ng/g）≤20

硼（B）含量/（ng/g）