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国家标准《电子元器件半导体器件长期贮存
第7部分:微电子机械器件》(征求意见稿)编制说明
一、工作简况
1、任务来源
《电子元器件半导体器件长期贮存第7部分:微电子机械器件》标准制定是
2023年第四批推荐性国家标准计划项目,计划项目批准文号:国标委发【2023】
63号,计划编号T-339。由中华人民共和国工业和信息化部提出,全
国半导体器件标准化技术委员会(SAC/TC78)归口,主要承办单位为中电国基北
方有限公司,副主办单位为河北北芯半导体科技有限公司,天津大学,北京智芯
微电子科技有限公司,工业和信息化部电子第五研究所,河北圣昊光电科技有限
公司,项目周期16个月。
2、制定背景
电子元器件-半导体器件的长期贮存系列标准是对半导体器件进行长期贮存
试验的依据。本标准是该系列标准的第7部分,适用于微电子机械器件产品长期
贮存时需要的注意事项及基本要求,旨在为长期或长期计划贮存微电子机械器件
的方法提供实用指南。本文件中提出的方法的应用无法保证所贮存的元器件在其
贮存结束时仍处于理想的工作状态,仅包含将潜在和可能的降解因子降至最低的
方法。
本标准的制定,是形成完整的电子元器件-半导体器件长期贮存系列标准的
重要环节,是评价和考核常用半导体器件长期贮存的重要依据。
3、工作过程
1)成立标准编制组
2024.01~2024.02牵头单位广泛征集参编单位,成立了编制组。编制组成员
包括管理者、长期从事微电子机械器件领域的研究、设计、制作和测试人员,半
导体器件检验及可靠性试验人员,以及具有多年国标编制经验的标准化专家。编
制组成员明确了职责和时间进度要求,制定了详细的工作计划,并开始收集相关
的标准和资料。
2)编写工作组讨论稿
2023.03~2024.04编制组成员对等同采用的IEC标准进行翻译、研究、分析和
比较,对相关领域的论文、产品手册等资料进行了收集、整理和分析,编写工作
组讨论稿。
3)编写征求意见稿
2024.05~2024.06编制组成员内部进行讨论,对工作组讨论稿进行了修改和
完善,并结合编制组的实际工作经验,形成了标准的征求意见稿,并编写编制说
明。
3标准编制的主要成员单位及其所做的工作
本标准主要承办单位为中电国基北方有限公司,副主办单位河北北芯半导体
科技有限公司,天津大学,北京智芯微电子科技有限公司,工业和信息化部电子
第五研究所,河北圣昊光电科技有限公司。在标准编制中,中电国基北方有限公
司、河北北芯半导体科技有限公司主要负责标准的翻译、制定、试验技术及验证
工作、文本及格式的校对工作,天津大学,北京智芯微电子科技有限公司,工业
和信息化部电子第五研究所,河北圣昊光电科技有限公司等负责部分标准的翻译
及试验验证,以及文本及格式的校对工作。
二、国家标准编制原则、主要内容及其确定依据
1、编制原则
本标准为电子元器件半导体器件长期贮存系列标准的第7部分,属于基础标
准。为保证半导体器件的长期贮存与国际标准一致,实现微电子机械器件的长期
贮存与国际接轨,本标准等同采用IEC62435-7:2020《电子元器件半导体器件
长期贮存第7部分:微电子机械器件》。
本标准按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构
和起草规则》、GB/T1.2—2020《标准化工作导则第2部分:以ISO/IEC标准化
文件为基础的标准化文件起草规则》的规定起草。除编辑性修改外,本标准的结
构和内容与IEC62435-7:2020保持一致。
2、主要内容及其确定依据
在目前的市场环境中,微电子机械器件在生产完成后,相当一部分不会被立
刻投入使用,因此如何保障经过长期贮存后器件的机械完整性和电气性能,是需
要考虑的关键因素。
本标准主要技术内容包含长期贮存微电子机械器件相关的范围、规范性引用
文件、术语和定义、贮存注意事项和长期贮存基本要求等内容。贮存注意事项包
括微电子机械器件应用概述、失效机理、原材料管理、贮存介质、文件/纸张批
标识符、库存检查、库存干燥包装的更新、库存重新评估等。长期贮存基本要求
包括概述、潮湿敏感标识、干燥包装、非潮湿敏感电子元器件的贮存、微电子机
械器件装配前的贮存——晶圆级和芯片级贮存、潮湿敏感涂覆元器件的贮存等。
本标准等同采用IEC62435-7:2020,本标
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