3 紫外光学法微纳线宽栅格校准规范-实验报告.docx

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《紫外光学法微纳线宽栅格校准规范》实验报告

概述

微纳线宽/栅格样板是具有纳米级线宽、栅格间距几何特征结构的，可用于微纳米测量的标准样板。微纳线宽/栅格样板的校准方法为紫外光学法。本实验报告的目的是通过一系列实验研究，考察新制订的《紫外光学法微纳线宽栅格校准规范》的校准条件、校准方法、技术指标的科学性和可操作性，以及规范中不确定度评定的合理性。根据新制订的《紫外光学法微纳线宽栅格校准规范》该样品的计量特性见表1。

表1微纳线宽/栅格样板校准的计量特性

序号

计量特性

1

微纳线宽W

2

微纳线宽均匀性s

3

微纳栅格平均栅格间距P

4

微纳栅格线间距均匀性s

实验对象

本实验报告对微纳线宽/栅格样板进行了校准实验，并对校准结果进行了分析。

三、实验项目及方法

校准设备为紫外光学显微镜，其特性指标见表2，校准前应按照校准前准备进行准备工作，确保仪器处于正常的工作状态且无影响校准计量性能的因素后方可进行校准，并根据规范中校准方法进行测量。

表2校准用设备的计量特性

项目名称

技术指标

测量范围

500nm~500μm

最大示值误差

MPE≤2%A

注：A代表平均栅格间距P或线宽W。

3.1微纳线宽

3.1.1线宽测量记录

表3线宽测量记录表（单位：μm）

测量值

校准值

292.6

294.0

291.9

294.2

292.0

293.1

292.0

293.1

293.6

294.0

293.1

3.1.2线宽均匀性测量记录

表4线宽均匀性测量记录表（单位：μm）

测量位置

测量值

均匀性

1

290.2

290.3

291.3

290.2

291.3

291.3

291.3

291.8

290.1

290.0

0.36

2

290.4

292.0

290.1

291.3

289.0

291.3

290.0

291.3

290.4

290.4

3

290.4

291.2

291.2

290.0

292.7

291.2

292.7

292.0

291.9

291.3

3.2微纳栅格

3.2.1平均栅格间距测量记录

表5平均栅格间距测量记录表（单位：μm）

测量位置

测量值

L1

49.48

L2

49.96

L3

49.96

L4

49.73

L5

49.76

校准值

49.78

3.2.2栅格间距均匀性测量记录

表6栅格间距均匀性测量记录表（单位：μm）

测量位置

测量值

均匀性

1

49.48

49.97

49.97

49.73

49.77

0.15

2

49.85

50.1

50.1

50.05

50.17

3

49.77

50.25

50

49.93

49.93

4

50.47

50.4

50.4

50.15

50.27

5

50.08

49.98

50.21

50.1

50.1

6

50.33

50.08

50.08

50.08

50.25

7

50.08

49.85

50.08

49.97

49.97

8

49.85

49.97

49.85

49.93

50.02

9

49.97

50.2

50.2

50.08

50.2

四、试验记录

编写组对符合微纳线宽/栅格样板校准规范中描述的微纳线宽/栅格样板，按照校准规范的要求进行了校准，通过数据分析可知，校准规范中的校准项目合理、校准方法可行、可操作性强，能够满足微纳线宽/栅格样板的校准需求。