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实验用主要标准器
名称
型号
技术特征
器具编号
标准视场检验器
φ250μm
MPE：±1μm
SF-1
宽度标准器
W34-1
U=0.2μm，k=2
W-2
直径标准器
D225-1
U=0.2μm，k=2
D-2
区域检查器
FD
U=0.2μm，k=2
F1
表1
型号：Manta-HM
生产厂：Sumix
温度：（23.0～23.5）℃
编号：75021
试验日期：2024.10.15
湿度：62%RH
1.视场范围
标准视场＞250μm
2.划痕和缺陷所在区域的判别准确性
符合要求
3.划痕宽度测量示值误差
标准值（μm）
测得值（μm）
示值误差（μm）
3.2
3.7
3.7
3.5
0.4
4.3
4.8
4.8
4.8
0.5
3.缺陷直径测量示值误差
标准值（μm）
测得值（μm）
示值误差（μm）
1.9
2.1
2.3
2.3
0.3
2.9
3.1
3.1
3.1
0.3
5.0
5.0
5.0
5.0
0.0
25.6
25.5
25.5
25.5
-0.1
4.示值重复性
划痕0.0μm缺陷：0.1μm
划痕
μm
4.8
4.8
4.8
5.0
4.7
4.8
4.8
4.8
4.7
4.8
缺陷
μm
25.5
25.5
25.5
25.5
25.5
25.5
25.5
25.5
25.5
25.5
试验地点：深圳市坪山区锦绣中路科技园5楼车间
表2
型号：Manta-W+
生产厂：Sumix
温度：（23.0～23.5）℃
编号：72363
试验日期：2024.10.15
湿度：62%RH
1.视场范围
标准视场＞250μm
2.划痕和缺陷所在区域的判别准确性
符合要求
3.划痕宽度测量示值误差
标准值（μm）
测得值（μm）
示值误差（μm）
3.2
3.8
3.7
3.9
0.6
4.3
4.9
4.9
4.7
0.5
4.缺陷直径测量示值误差
标准值（μm）
测得值（μm）
示值误差（μm）
1.9
2.1
2.0
2.3
0.2
2.9
3.0
3.0
3.0
0.1
5.0
4.9
5.0
4.7
-0.1
25.6
25.4
25.8
25.6
0.0
5.示值重复性
划痕0.2μm缺陷：0.2μm
划痕
μm
4.9
4.9
4.7
4.9
4.8
4.8
4.7
4.5
4.7
4.4
缺陷
μm
25.4
25.8
25.6
25.5
25.3
25.3
25.6
25.7
25.7
25.8
试验地点：深圳市坪山区锦绣中路科技园5楼车间
表3
型号：Manta-HM
生产厂：SUMIX
温度：（23.0～23.5）℃
编号：75036
试验日期：2024.10.15
湿度：62%RH
1.视场范围
标准视场＞250μm
2.划痕和缺陷所在区域的判别准确性
符合要求
3.划痕宽度测量示值误差
标准值（μm）
测得值（μm）
示值误差（μm）
3.2
3.9
3.9
3.8
0.7
4.3
5.0
5.0
5.0
0.7
4.缺陷直径测量示值误差
标准值（μm）
测得值（μm）
示值误差（μm）
1.9
1.8
1.8
1.8
-0.1
2.9
3.1
2.9
3.1
0.1
5.0
5.0
5.0
5.2
0.1
25.6
25.7
25.8
25.7
0.1
5.示值重复性
划痕0.0μm缺陷：0.0μm
划痕
μm
5.0
5.0
5.0
5.0
5.0
5.0
5.1
5.0
5.0
5.0
缺陷
μm
25.7
25.8
25.7
25.8
25.8
25.7
25.7
25.8
25.8
25.8
试验地点：深圳市坪山区锦绣中路科技园5楼车间
表4
型号：Smartcheck
生产厂：深圳市维度科技有限公司
温度：（22.5～22.8）℃
编号：FCPCED0060
试验日期：2024.10.18
湿度：62%RH
1.视场范围
标准视场＞250μm
2.划痕和缺陷所在区域的判别准确性
符合要求
3.缺陷直径测量示值误差
标准值（μm）
测得值（μm）
示值误差（μm）
1.9
2.0
2.0
2.0
0.1
2.9
2.6
3.1
3.1
0.0
5.0
4.6
4.6
4.6
-0.4
25.6
25.5
25.0
25.0
-0.4
4.示值重复性
缺陷：0.2μm
缺陷
μm
25.0
25.0
25.0
25.5
25.0
25.0
25.0
25.0
25.0
25.5
试验地点：广州市黄埔区尖塔山路19号1-302
表5
型号：FastcheckV2
生产厂：深圳市维度科技有限公司
温度：（20.2～20.4）℃
编号：FCCCL
试验日期：2024.10.
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