抗反射光栅的设计与仿真.docx

题目：抗反射光栅的设计与仿真

Title:DesignandSimulationofanti-reflectiongrating

摘要

抗反射光栅可用作波导面，降低菲涅耳反射率，从而降低耦合损耗和回波损耗。采用抗反射光栅结构可以减少发光二极管的菲涅耳反射，同时可以提高外量子效率。此外，它还可广泛应用于光学元件、太阳能电池、探测器等的表面处理。本文利用Rsoft软件diffractmod板块搭建简单的光栅模型并进行仿真，同时分析周期、折射率、波长、脊高、入射角度以及填充系数对于亚波长抗反射光栅性能的影响，同时对比于最开始设定的基本参数所仿真出的光栅衍射率效果图，得到数据较好的衍射率