辊筒模具微沟槽阵列超精密加工方法研究.docx

辊筒模具微沟槽阵列超精密加工方法研究

摘要

微结构阵列因其独特的工程功能而得到广泛应用，在不同的应用领域具有良好的应用前景。微V型槽阵列是用于光学和生物医学功能最常见的微结构之一。Roll-to-Roll压印技术是是一种新兴的微结构复印技术，能够实现高精度、高效率、低成本地制造微结构功能表面，其核心是带有微结构表面的辊筒模具的加工技术。由于辊筒模具具有大尺寸、高表面质量的需求，对于加工机床的精度和加工工艺都有极高的要求。

本文通过对辊筒模具基面加工精度影响因素进行研究，分析不同加工参数对辊筒基面加工表面粗糙度和形状精度的影响，获得辊筒模具基面的最优加工参数。此外，用最优参数在工件加