高纯石墨靶材.pdf

ICS73.080

CCSQ51

JC

中华人民共和国建材行业标准

JC/TXXXX—202X

高纯石墨靶材

Highpuritygraphitetarget

(征求意见稿）

202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

JC/TXXXX-202X

前  言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国建筑材料联合会提出。

本文件由全国非金属矿产品及制品标准化技术委员会（SAC/TC406）归口。

本文件起草单位：

本文件主要起草人：

I

JC/TXXXX-202X

高纯石墨靶材

1范围

本文件规定了高纯石墨靶材分类与标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮

存。

本文件适用于高纯石墨靶材。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T1031产品几何技术规范（GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GB/T3521石墨化学分析方法

GB/T11337平面度误差检测

GB/T24528炭素材料体积密度测定方法

GB/T34890产品几何技术规范（GPS）数字摄影三坐标测量系统的验收检测和复检检测

YB/T4590硅材料用高纯石墨制品中杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法

YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

靶坯targetblank

以高纯等静压石墨为原料加工用于制备溅射沉积薄膜的阴极材料。

3.2

背板backingplate

用来支撑或固定靶材的材料。靶坯与背板可以通过焊接（如钎焊、电子束焊、扩散焊等）、机械复

合、粘接等方式连接。

3.3

高纯石墨靶材highpuritygraphitetarget

由靶坯加工成的单体或靶坯与背板经焊接、加工制成的复合体。

1

JC/TXXXX-202X

4分类与标记

4.1分类

高纯石墨靶材按结构分为单体高纯石墨靶材和复合体高纯石墨靶材两类，类别代号依次为DT，FH，

每类按照固定碳含量分为≥99.99%、≥99.999%和≥99.9999%三个规格，规格代号依次为4NC、5NC

和6NC。单体高纯石墨靶材结构示意图见图1。复合体高纯石墨靶材结构示意图见图2。

图1单体高纯石墨靶结构示意图