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特气供应系统技术文件
建设单位：
项目名称：
二○二三年四月
气体供应系统包定义文件
目录
项目页码
1．气瓶供应系统的工程界面说明3
2．气瓶供应系统设计内容及要求17
3．提交资料18
4．工程项目实施要求22
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气体供应系统包定义文件
1.特种气体供应系统的工程界面说明
1.1包的范围
1.1.1投标方应提供完整的特种气体供应系统（以下称为本系统）所需的供应设备、
管路系统、控制系统、危害性气体的侦测及监控系统、所有系统所需的公用
系统，包括设计、制造、采购、安装、调试、运行及部分备品备件。并且达
到以下的要求：
-提供满足生产工艺要求的品质参数及数量的气瓶供应系统。
-提供安全性的、连续性的、可靠的供气及输配系统。
-本系统须符合国家、国际及地方相关法规的要求。
-提供高质量、高效率、安全的、节能的施工与运行。
1.1.2本包为某某项目气瓶供应系统工程。
1.1.3本章所述内容仅对本系统的最低要求，本系统应满足工艺生产的要求。
1.2包的详细描述
1.2.1本包所供应的气体设备包括但不限于：
惰性气体：氩气、氦气、六氟化硫、八氟环丁烷、四氟化碳、二氧化碳、
高纯氮气
助燃性气体：氧气
微毒气体：三氟化氮
1.2.1.1设计流量及使用点压力要求见下表：
气体名称设计流量LPM使用点压力Psi(G)
氧气（O2）20050
氦气（He）15050
氩气（Ar）15050
三氟化氮NF3（）2050
二氧化碳CO2（）2050
六氟化硫（SF6）2015
八氟环丁烷C4F8（）2015
四氟化碳CF4（）2050
高纯氮气（PN2）2050
1.2.1.2系统GC气柜功能及配置表：
功能
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