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CSOT-CONFIDENTIAL1.1CF结构GLASSSUBSTRATEBlackMatrixColorLayerITOPSBMPS概论介绍BM:BlackMatrix黑色矩阵功用:用来遮光46寸BMPattern31.5寸BMPattern1.2BM简介BMPS概论介绍PS:PhotoSpacer感光间隙子功用:支撑与维持Cellgap均匀46寸PSPattern31.5寸PSPattern1.3PS简介BMPS概论介绍1.4扩展知识BM还可以做成这样~屏幕还可以做成这样~BMPS概论介绍3.1.1CLNINCVEUV(DUV)BrushShowerBJ+HPFR+AKOutCVDetergent使用位置Detergent水洗净用二流体或高压水柱吹干玻璃用风刀最主要去除Particle单元玻璃入口玻璃出口EUVUnit:使用EUV将玻璃表面的有机物分解。选配的UnitBrushUnit:使用Nylon毛刷，去除玻璃表面Particle(5um)ShowerUnit:喷水水洗，用以去除前段Brush刷起的Particle，并将Detergent冲洗掉二流体Unit:二流体Shower，去除小Particle(5um)FR+AKUnit:AK吹干玻璃玻璃出口，玻璃倾斜?水平玻璃入口，玻璃水平?倾斜Hotbath制程设备介绍Tilting机构DownOnUpOnTilting使用外部实际机构定位，不单独使用动作机构定位，以避免机构损坏时位置异常而造成破片Tilting用途玻璃入口，主要功能除了衔接上游玻璃，还可以玻璃倾斜，再进入湿制程段。玻璃倾斜，有助于清洗时的Particle冲除，以及AK的乾燥能力。InConveyor端安装1.CCD检测玻璃边缘及缺角状况2.Tilting将玻璃倾斜3.静电消散型Roller，避免ESD4.MagneticGear3.1.2CLN制程设备介绍3.1.3CLNRollerBrush:利用0.05mmNylon毛刷，高速旋转来去除较大的Particle(5um)制程设备介绍3.1.4CLNCHINASTAROPTOELECTRONICSTECHNOLOGY35°AK(AirKnife)-?利用大量的CDA吹除玻璃表面上的水AK与玻璃会有一夹角，目的在于增加排水性，将水由玻璃上方吹赶到下方制程设备介绍Coater四个组成部分LD(装载机械臂)Coater(涂布机)ULD(卸载机械臂)VCD(真空干燥)3.2.1COT制程设备介绍3.2.2COTrubberSTAGEDiprubber1.Bleed2.Wiping3.Nozzleset4.Pre-dispense6.Setcoatingclearance5.Dwellafterpre-dispense7.Startpumpdispense8.Coatingstart9.Stoppumpdispense10.Nozzleliftdispensepump制程设备介绍3.2.3COTVCD功能：把光阻中的solvent抽离CDAPUMP3254105104103102100Time/sec1.基板送入2.Slow排气3.main排气4.CDA送入Value打开5.CDA关闭6.基板送出排气CDA制程设备介绍3.3.1HPCPHPCPLDRBULDRBCoaterVCDHPCPBuffer/THKSkyCV（装载机械臂）（加热平台）（冷却平台）（机械臂）（卸载机械臂）制程设备介绍3.4.1ALNUV光光罩光阻显影后負光阻(BM、R、G、B、PS)(見光留)Cr膜玻璃基板石英曝光机原理：制程设备介绍CPLeft-RobotRight-ChuckLeft-ChuckRight-Robot露光光源UnitMaskHolderMaskStockerGlass基板Glass基板Glass基板Glass基板CP3.4.2ALN3.4.3ALN玻璃于曝光机内流程：CPLeft-RobotLeft-ChuckMaskHolderGlass