HiCube分子泵泵组选型-MT.pdf

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HiCube

适用于高真空和超高真空应用的模块化泵组

HiCube™

适用于高真空和超高真空应用的模块化泵组

应用范围广HiCube涡轮分子泵组采用模块化设计。您可以分别选择适合的涡

轮分子泵和前级泵。这种方式可以满足所有高真空和超高真空应用

的要求。工艺扎实、连接便捷、自动化抽吸的特点最大限度的保障

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