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20工具技术

TiAlN纳米复合涂层的技术进展

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毛延发唐为国刘金良韩培刚

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西安建筑科技大学兰州大学深圳市广大纳米工程技术有限公司

摘要:综合介绍了国内外TiAlN涂层技术的发展现状和TiAlN涂层的性能特点、PCD制备工艺以及今后的发

展趋势和研究方向;重点评述了高Al含量TiAlN超硬涂层、异质多层膜纳米复合TiAlN涂层和多元合金增强涂层技

术的必威体育精装版进展;指出了TiAlN涂层刀具在精密模具和汽车零部件加工中的重要作用。

关键词:TiAlN,超硬涂层,纳米复合涂层,PVD工艺,刀具,技术进展

TechnologyDevelopmentofTiAlNNaro-compositeCoatings

MaoYanfaTangWeiguoLiuJinliangetal

Abstract:ThedevelopingstatusofTiAlNcoatingtechnologyinhomeandabroadandTiAlNcoatingsperformances,PVD

process,techniquedevelopingtrendsandstudyaspectsareintroducedsynthetically.TheupdateddevelopmentofTiAlNsuperhard

coatingswithhigherAlcontent,naro-compositeTiAlNcoatingswithheterogeneitymulti-filmsandthemulti-alloy-reinforcedcoating

technologyarereviewedemphatically.TheimportantrolesofTiAlNcoatedcuttingtoolsontheprecisionmoldanddieindustryand

themanufacturingofautopartsarepointout.

Keywords:TiAlN,superhardcoating,naro-compositecoating,PVDprocess,cuttingtool,technologydevelopment

TiAlN涂层表示出极大的关注。

1引言

2国内外TiAlN涂层技术的发展现状

在过去二十多年中,采用物理气相沉积(PVD)

涂层技术对金属材料进行表面改性已取得了很好的2.1工具涂层发展概况

使用效果,TiN硬质涂层在工具行业的广泛应用就目前全球切削工具的市场规模约为100亿美

是明显的例子。然而,TiN涂层在高温条件下抗氧元[3]。随着制造技术的高速发展,汽车、模具行业等

化、抗扩散磨损能力等方面的不足却限制了它的进工具需求大户(用量超过70%)对刀具的切削性能

一步发展。于是,各国纷纷着手开发新型纳米复合提出了更高要求,而