流化床法颗粒硅用籽晶.pdfVIP

ICS29.045

CCSH80

YS

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/TXXXX—202X

流化床法颗粒硅用籽晶

Seedcrystalsforfluidizedbedparticulatesilicon

（预审稿）

202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/TXXXX—202X

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员

会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。

本文件起草单位：

本文件主要起草人：

I

YS/TXXXX—202X

流化床法颗粒硅用籽晶

1范围

本文件规定了颗粒硅生长用籽晶的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量

证明书及订货单（或合同）内容。

本文件适用于以硅多晶为原料，通过筛分或研磨加工成的籽晶。该籽晶主要用作硅烷流化床法生长

颗粒硅用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于

本文件。

GB/T14264半导体材料术语

GB/T21649.2粒度分析图像分析法第2部分：动态图像分析法

GB/T24581硅单晶中III、V族杂质含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法

GB/T35306硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法

GB/T35309用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程

GB/T37049电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

3术语和定义

GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件。

3.1颗粒硅用籽晶

具有与颗粒硅相同结构的硅多晶，是生长颗粒硅的种子，也叫晶种。

4技术要求

4.1颗粒硅用籽晶技术指标应符合表1的规定。

表1技术指标

技术指标

项目