压电阀的仿真设计.docx

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题目:压电阀的仿真设计

PAGEIV

摘要

随着微机电系统作为一种新兴技术越来越得到广大研究者的青睐,其分支之一微流动系统也得到迅速发展。压电阀以压电陶瓷材料制成的压电执行器作为核心结构,取代传统意义上的压电泵一般所需要的独立驱动与传动装置,可有效避免电磁干扰、效率损失与误差累积等问题。本文从压电阀的作用与分类开始,阐述了国内外研究现状,对与压电理论相关的逆压电效应、压电材料等

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