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蚀刻工序作业指导书
1.0目的
建立详细的作业规范，籍以稳定品质，提升生产效率，并作为设备保养、员工操作的
依据，此文件同时也是本岗位新员工培訓之教材。
2.0适用范围
本作业规范适用于本公司蚀刻（含去膜、退锡）工序。
3.0职责
电镀班具体负责落实本指导书的实施及蚀刻设备的维护与保养。
4.0作业内容
4.1作业流程
4.1.1内层（负片）蚀刻作业流程
烤板→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→退膜→清洗→烘干→蚀检→转
黑化工序
4.1.2镀锡板蚀刻作业流程
退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→退锡→烘干
→蚀检→转下工序
4.1.3镀金板蚀刻作业流程
退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→酸洗→清洗
烘干→蚀检→转下工序
4.1.3若外层线路使用负片菲林，其蚀刻流程同4.1.1。
4.2蚀刻工序设备及物料清单
蚀刻机、褪膜机、褪锡机、排骨架、猪笼架、放板台、去膜槽、水洗台、软毛刷、
蚀刻子液、褪铅锡药水、褪膜篮、NaOH、氨水、柠檬酸、胶盆。
4.3基本流程说明
4.3.1退膜：通过强碱溶解表面油墨/干膜使之退去，露出所需之铜。
4.3.2蚀刻：在碱性强氧化剂的条件下，将线路板上之多余铜面除去。
4.3.3退锡：去除蚀刻后图形上的抗蚀锡层。
4.3.4酸洗：清洗金面轻微氧化，防止氧化加深。
4.4工艺参数及操作条件
槽名控制成份控制范围操作条件分析频率
NaOH2%~5%喷淋
退膜2次/周
退膜速度0.8~1.5m/min室温
2+
Cu130~145g/L
1次/天
Cl-160~200g/L
比重1.190~1.200
PH7.8~8.2
控制成份控制范围
1/4OZ：
放板速度
4.5~5m/min
HOZ：
3.5~4.5m/min
1OZ：
喷淋压力：
2.0~2.5m/min
蚀刻A泵上压3.0±
2OZ：
0.1Kg/cm21次/班
1.2~1.4m/min
3OZ：
0.9~1.1m/
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