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《压电陶瓷执行器迟滞补偿与控制方法研究》

摘要

本文深入研究了压电陶瓷执行器（PZEA）的迟滞补偿和控制方法。压电陶瓷执行器因其高精度、快速响应等特性在微纳操作、精密定位等领域得到广泛应用。然而，其迟滞非线性特性对执行器的性能产生了显著影响。本文旨在通过理论分析和实验研究，提出有效的迟滞补偿和控制策略，以提高压电陶瓷执行器的性能。

一、引言

压电陶瓷执行器是一种基于压电效应的微位移驱动器，具有高精度、快速响应等特点，在精密工程和微纳操作中发挥着重要作用。然而，其迟滞非线性特性使得精确控制变得困难，影响了执行器的性能。因此，研究压电陶瓷执行器的迟滞补偿与控制方法具有重要意义。

二、压电陶瓷执行器